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    Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

    Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy

    Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

    1. Kunngjøring av konkurranse

      6. aug. kl. 07:496. august 2026 kl. 07:49
    2. Frist for spørsmål

      13. aug. kl. 09:0013. august 2026 kl. 09:00
    3. Frist for innlevering

      24. aug. kl. 13:0024. august 2026 kl. 13:00
    4. Åpningsdato

      24. aug. kl. 13:1524. august 2026 kl. 13:15
    5. Vedståelsesfrist

      24. feb. kl. 14:0024. februar 2027 kl. 14:00

    Brief

    Anbudssøk/Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy/Edge-Handling Sputtering Cluster Tool
    Brief

    Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy needs an edge-handling sputtering cluster tool for 200-mm wafers for the VTT Micronova cleanroom semiconductor front end, to be delivered in Helsinki-Uusimaa over 14 months. The equipment must include a deposition chamber with four magnetron sputtering sources and be capable of wafer edge-handling, allowing wafers to be mechanically touched only at the wafer edge during transport and processing, and flipped in vacuum between processes. Tenders will be evaluated based on price (80%) and quality (20%).

    Om anbudet

      The object of the tender process is an edge-handling sputtering cluster tool (later also “Equipment”). The Equipment is a sputtering cluster tool for 200-mm wafers with wafer edge-handling capability for the VTT Micronova cleanroom semiconductor front end. The procurement includes a deposition chamber with four magnetron sputtering sources. During transport and processing, the wafers are mechanically touched only at the wafer edge, and they can be flipped in vacuum between the processes. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.Hovedtrekkene i prosedyrenThe tender process is based on the open procedure applicable to contracts that exceed the EU procurement threshold.

      Kontakt navn
      VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
      Kontakt telefon
      +358 20722111
      Kontakt e-post
      kilpailutus@vtt.fi
      Adresse
      PL 1000, 02044 VTT

    Egne vurderingskriterier

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    Tildelingskriterier

    • Beskrivelse

      The evaluation of the tenders is described in section 'Grounds for decision'.

    • Beskrivelse

      The evaluation of the tenders is described in section 'Grounds for decision'.

    Kvalifikasjonskrav

      Fant ingen kvalifikasjonskrav i konkurransekunngjøringen.

    Tidligere kontraktsvinnere

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    Innkjøper
    Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
    Tittel
    Edge-Handling Sputtering Cluster Tool
    Type
    KonkurransePrekvalifisering
    Hovedkode
    38000000Laboratorie-, optisk- og presisjonsutstyr (bortsett fra briller)
    Tilleggskoder

    Ingen tilleggskoder fra innkjøper …

    Tilleggskoder lagt til av Cobrief

    38800000Industriell prosesstyringsanlegg og fjernstyringsutstyr
    38810000Industriell prosesstyringsanlegg
    51430000Installasjon av laboratorietekniske anlegg
    Lokasjon
    Helsinki-Uusimaa
    Varighet
    14 måneder

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      1. sep. 2026(18 dager)
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      Konkurranse6. aug. 2026
      30. sep. 2026(47 dager)
      800 000 €
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      Konkurranse med kvalifisering31. juli 2026
      1. sep. 2026(18 dager)
    • Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

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      Konkurranse med kvalifisering30. juli 2026
      17. aug. 2026(3 dager)
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      Konkurranse23. juli 2026
      4. sep. 2026(21 dager)