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    Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)

    CNRS-Délégation Centre-Est

    Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)

    1. Competition notice published

      Feb 18, 1:09 PMFebruary 18, 2025 1:09 PM
    2. Supplier selection

      Mar 31, 12:00 AMMarch 31, 2025 12:00 AM
    3. Contract signed

      Apr 18, 12:00 AMApril 18, 2025 12:00 AM
    4. Result notice published

      Apr 18, 11:01 AMApril 18, 2025 11:01 AM

    Brief

    France: Tenders/CNRS-Délégation Centre-Est/Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)

    Awarded

    The competition has ended and a winner has been selected.

    Brief

    L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.

    Result

    Winner
    ANNEALSYS
    Number of bids
    1
    Contract value
    €126,249

    About the bid

      L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.Main features of the procedureLa présente consultation est passée selon une procédure formalisée, sous la forme d’un appel d’offres ouvert en application des articles L.1111-1, L.2124-1 et L.2124-2 et des articles R.2161-2 à R2161-5 du Code de la commande publique ; marché régi par la réglementation générale applicable aux Marchés passés par les pouvoirs adjudicateurs mentionnés aux articles L1210-1, L1211-1 et R2100-1 relatif aux Etablissements publics de l’Etat pour leurs achats destinés à la conduite de leurs activités de recherche.

      Contact phone
      +33 83856077
      Contact email
      dr06.liste.achats@cnrs.fr
      Address
      17, rue Notre Dame des Pauvres, 54519 Vandoeuvre-lès-Nancy

    Custom Assessment Criteria

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    Award Criteria

    • Description

      Critère pondéré à hauteur de 40%

    • Description

      Critère pondéré à hauteur de 40% subdivisé en 2 sous critères : - Sous critère n°1 relatif aux garanties apportées en matière de configuration matériels (valant 30 points), - Sous critère n°2 relatif aux garanties apportées en matière de logiciel et automatisme de procédé (valant 10 points).

      Sub-criteria

      Description

      Sous critère n°1 relatif aux garanties apportées en matière de configuration matériels (valant 30 points).

      Description

      Sous critère n°2 relatif aux garanties apportées en matière de logiciel et automatisme de procédé (valant 10 points).

    • Description

      Critère pondéré à hauteur de 10%

    • Description

      Critère pondéré à hauteur de 10%

    Qualification requirements

      Found no qualification requirements in the contract notice.

    Previous Contract Winners

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    Contracting authority
    CNRS-Délégation Centre-Est
    Title
    Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
    Type
    ResultPrequalification
    Main code
    42942000Ovens and accessories
    Supplemental codes

    No supplemental codes from buyer…

    Location
    Doubs
    Duration
    1 year

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