Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
Awarded
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L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.
Result
- Winner
- ANNEALSYS
- Number of bids
- 1
- Contract value
- €126,249
About the bid
- Contact phone
- +33 83856077
- Contact email
- dr06.liste.achats@cnrs.fr
- Address
- 17, rue Notre Dame des Pauvres, 54519 Vandoeuvre-lès-Nancy
L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.Main features of the procedureLa présente consultation est passée selon une procédure formalisée, sous la forme d’un appel d’offres ouvert en application des articles L.1111-1, L.2124-1 et L.2124-2 et des articles R.2161-2 à R2161-5 du Code de la commande publique ; marché régi par la réglementation générale applicable aux Marchés passés par les pouvoirs adjudicateurs mentionnés aux articles L1210-1, L1211-1 et R2100-1 relatif aux Etablissements publics de l’Etat pour leurs achats destinés à la conduite de leurs activités de recherche.
Custom Assessment Criteria
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Award Criteria
Description
Critère pondéré à hauteur de 40%
Description
Critère pondéré à hauteur de 40% subdivisé en 2 sous critères : - Sous critère n°1 relatif aux garanties apportées en matière de configuration matériels (valant 30 points), - Sous critère n°2 relatif aux garanties apportées en matière de logiciel et automatisme de procédé (valant 10 points).
Sub-criteria
Description
Sous critère n°1 relatif aux garanties apportées en matière de configuration matériels (valant 30 points).
Description
Sous critère n°2 relatif aux garanties apportées en matière de logiciel et automatisme de procédé (valant 10 points).
Description
Critère pondéré à hauteur de 10%
Description
Critère pondéré à hauteur de 10%
Qualification requirements
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- Contracting authority
- CNRS-Délégation Centre-Est
- Title
- Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
- Type
- Main code
- Supplemental codes
- Location
- Doubs
- Duration
- 1 year
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