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    Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

    Ruhr-Universität Bochum (RUB)

    Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

    1. Wettbewerbsbekanntmachung veröffentlicht

      12. aug. kl. 05:4712. august 2026 kl. 05:47
    2. Teilnahmefrist

      14. sep. kl. 10:0014. september 2026 kl. 10:00

    Brief

    Deutschland: Ausschreibungen/Ruhr-Universität Bochum (RUB)/Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

    Veröffentlichte Frist abgelaufen

    Die veröffentlichte Frist ist abgelaufen. Bei mehrstufigen Verfahren kann eine spätere Angebotsfrist weiterhin gelten — prüfen Sie die Bekanntmachung oder das Portal für die aktuelle Phase.

    Brief

    Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt die Beschaffung einer DRIE-Ätzanlage für das Forschungslabor Mikroelektronik Bochum, die für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Die Anlage dient dem tiefen anisotropen Siliziumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") im Bereich der Silizium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) und soll zudem die Erforschung neuer, klimafreundlicherer Ätzkonzepte ermöglichen. Der maximale Gesamtauftragswert beträgt 1.024.000 EUR. Qualifikationsanforderungen umfassen die Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen, eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland innerhalb von 5 Arbeitstagen nach Anfrage sowie die Bestätigung eines Interesses an der gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.

    Über das Angebot

      Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

      Kontakttelefon
      +49 23432-0
      Kontakt-E-Mail
      beschaffung@rub.de
      Adresse
      Universitätsstr. 150, 44801 Bochum

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    Zuschlagskriterien

      Keine zuschlagskriterien in der Auftragsbekanntmachung gefunden.

    Qualifikationsanforderungen

    • Beschreibung

      Der Bieter muss Mitglied in einer Berufsgenossenschaft sein.

      Dokumentationsanforderung

      Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers ist eine entsprechende Bescheinigung der Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft einzureichen. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.

    • Beschreibung

      Der Bieter muss eine Haftpflichtversicherung besitzen.

      Dokumentationsanforderung

      Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers ist eine entsprechende Versicherungsbescheinigung einzureichen. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.

    • Beschreibung

      Detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte.

      Dokumentationsanforderung

      Die Angaben sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen.

    • Beschreibung

      Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen.

      Dokumentationsanforderung

      Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.

    • Beschreibung

      Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage.

      Dokumentationsanforderung

      Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.

    • Beschreibung

      Bestätigung an einem Interesse an einer gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.

      Dokumentationsanforderung

      Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.

    • Beschreibung

      Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssummen für Sach-, Vermögens- und Personenschäden.

      Dokumentationsanforderung

      Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.

    • Beschreibung

      Angaben zu Umsatzzahlen der letzten 3 abgelaufenen Geschäftsjahre bezogen auf vergleichbare Aufträge und auf den Unternehmensgesamtumsatz.

      Dokumentationsanforderung

      Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.

    Frühere Zuschlagsempfänger

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    Vollständige Ausschreibung anzeigen

    Auftraggeber
    Ruhr-Universität Bochum (RUB)
    Titel
    Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
    Typ
    WettbewerbPräqualifikation
    Hauptcode
    38000000Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
    Zusätzliche Codes

    Keine zusätzlichen Codes vom Käufer…

    Zusätzliche Codes von Cobrief hinzugefügt

    38500000Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
    38810000Industrieprozesssteuerungsgeräte
    51430000Installation von labortechnischen Anlagen
    Ort
    Bochum, Kreisfreie Stadt
    Geschätzter Wert
    1.024.000,00 €

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      Wettbewerb29. sep. 2026
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      Wettbewerb7. sep. 2026
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      Wettbewerb23. sep. 2026
      27. okt. 2026(17 Tage)
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      Wettbewerb22. sep. 2026
      26. okt. 2026(16 Tage)
    • Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 - Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle

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      Wettbewerb23. sep. 2026
      29. okt. 2026(19 Tage)