Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
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Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt die Beschaffung einer DRIE-Ätzanlage für das Forschungslabor Mikroelektronik Bochum, die für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Die Anlage dient dem tiefen anisotropen Siliziumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") im Bereich der Silizium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) und soll zudem die Erforschung neuer, klimafreundlicherer Ätzkonzepte ermöglichen. Der maximale Gesamtauftragswert beträgt 1.024.000 EUR. Qualifikationsanforderungen umfassen die Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen, eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland innerhalb von 5 Arbeitstagen nach Anfrage sowie die Bestätigung eines Interesses an der gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.
Über das Angebot
- Kontakttelefon
- +49 23432-0
- Kontakt-E-Mail
- beschaffung@rub.de
- Adresse
- Universitätsstr. 150, 44801 Bochum
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
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Zuschlagskriterien
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Qualifikationsanforderungen
Beschreibung
Der Bieter muss Mitglied in einer Berufsgenossenschaft sein.
Dokumentationsanforderung
Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers ist eine entsprechende Bescheinigung der Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft einzureichen. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.
Beschreibung
Der Bieter muss eine Haftpflichtversicherung besitzen.
Dokumentationsanforderung
Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers ist eine entsprechende Versicherungsbescheinigung einzureichen. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.
Beschreibung
Detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte.
Dokumentationsanforderung
Die Angaben sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen.
Beschreibung
Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen.
Dokumentationsanforderung
Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.
Beschreibung
Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage.
Dokumentationsanforderung
Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.
Beschreibung
Bestätigung an einem Interesse an einer gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.
Dokumentationsanforderung
Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.
Beschreibung
Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssummen für Sach-, Vermögens- und Personenschäden.
Dokumentationsanforderung
Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.
Beschreibung
Angaben zu Umsatzzahlen der letzten 3 abgelaufenen Geschäftsjahre bezogen auf vergleichbare Aufträge und auf den Unternehmensgesamtumsatz.
Dokumentationsanforderung
Die Angaben sind durch Eigenerklärungen im Angebotsvordruck (Dokument 02) zu erbringen.
Frühere Zuschlagsempfänger
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- Auftraggeber
- Ruhr-Universität Bochum (RUB)
- Titel
- Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
- Typ
- Hauptcode
- Zusätzliche Codes
- Ort
- Bochum, Kreisfreie Stadt
- Geschätzter Wert
- 1.024.000,00 €
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