Bezmaskový laserový litografický systém/Direct-Write Optical Lithograph
Expired
The competition has expired without a winner being announced.
Elektrisk utstyr og belysning
Vysoké učení technické v Brně poptává dodávku moderního bezmaskového laserového litografického systému pro přímý laserový zápis jemných struktur na různé typy a velikosti substrátů. Jedná se o specializované laboratorní zařízení, které umožní vytváření přesně definovaných mikro- a nanostruktur bez nutnosti použití klasických fotolitografických masek, čímž se rozšíří technologické možnosti pracoviště a zefektivní výzkumné a vývojové činnosti. Maximální celková hodnota zakázky je 10 milionů Kč a doba trvání projektu je 6 měsíců. Hodnotící kritéria zahrnují kvalitu (laser s vlnovou délkou 405 nm, počet dostupných velikostí zápisových bodů, režim zápisu, minimální dosažitelná šířka struktury – single line a čáry a mezery, přesnost zarovnání horní strany pro 4" wafer, použití substrátu s tloušťkou až do 5 mm, nejmenší použitelná velikost substrátu 10x10 mm, interferometrické nebo ekvivalentní měření polohy, přesnost zarovnání mezi přední a zadní stranou substrátu, modulace expoziční dávky minimálně ve 1024 úrovních) a náklady (délka plné záruky za jakost).
About the bid
- Contact name
- CEITEC VUT
- Contact phone
- +420 604229562
- Contact email
- lyckova@vutbr.cz
- Address
- Antonínská 548, 60200 Brno
Předmětem této veřejné zakázky je moderní bezmaskový laserový litografický systém určený pro přímý laserový zápis jemných struktur na různé typy a velikosti substrátů. Jedná se o specializované laboratorní zařízení, které umožňuje vytváření přesně definovaných mikro- a nanostruktur bez nutnosti použití klasických fotolitografických masek. Účelem požadovaného zařízení je rozšíření technologické možnosti pracoviště v oblasti přípravy mikro- a nanostruktur. Zařízení umožní flexibilní a rychlou přípravu struktur bez nutnosti výroby fotomasek, čímž dojde ke zefektivnění výzkumných a vývojových činností. Pořízení zařízení přispěje ke zvýšení kvality, efektivity a konkurenceschopnosti výzkumných aktivit pracoviště. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace.
Custom Assessment Criteria
Start a free trial to ask your own questions about the tender and get AI-generated answers.
Award Criteria
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Description
Popis je uveden v zadávací dokumentaci.
Qualification requirements
Found no qualification requirements in the contract notice.
Previous Contract Winners
Start a free trial to see who has won similar tenders for this buyer.
See the full notice
- Contracting authority
- Vysoké učení technické v Brně
- Title
- Bezmaskový laserový litografický systém/Direct-Write Optical Lithograph
- Type
- Main code
- Supplemental codes
- Location
- Jihomoravský kraj
- Estimated value
- CZK 10,000,000.00
- Duration
- 6 months