Echipamente pentru depuneri materiale conductoare si dielectrice
Awarded
The competition has ended and a winner has been selected.
- Award
- Ajustare controlată a distanței dintre sursa magnetron și substrat 9% and 16 more
- Procedure
- OpenSingle stage
Brief
I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti a încheiat o înțelegere cu APEL LASER pentru livrarea de echipamente pentru depuneri de materiale conductoare și dielectrice, în valoare totală de 5.495.000 RON, pentru o durată de 23 de luni, în Ilfov. Echipamentele includ un echipament de depunere prin vaporizare cu fascicul de electroni (e-beam deposition) și două echipamente de depunere prin pulverizare catodică în vid (magnetron sputtering), destinate cercetării-dezvoltării și prototipării în microelectronică și microsisteme. Criteriile de atribuire au inclus prețul ofertei și calitatea, cu cerințe specifice privind distanța dintre planul substratului și sursa de material (mai mare de 500 mm), numărul de ferestre de observare a depunerii (două ferestre de vizualizare cu obturator), posibilitatea de ridicare a temperaturii de încălzire a substratului (peste 250 °C pentru Lotul 1 și 3, peste 600 °C pentru Lotul 2), rezoluția sistemului de monitorizare a grosimii stratului depus (0.03 Angstrom sau superior), puterea sursei de evaporare e-beam (mai mare de 5 kW), performanța sistemului de pompare (atingerea presiunii de 1 ×10⁻⁶ Torr în maxim 60 de minute), funcționalitatea integrată de curățare in-situ a camerei de depunere, ajustarea controlată a distanței dintre sursa magnetron și substrat, sistem planetar de manipulare a substratului și o garanție extinsă (până la cel puțin 60 de luni pentru Lotul 1 și 3, și cel puțin 72 de luni pentru Lotul 2). Au fost primite 3 oferte.
Industrimaskiner
Result
- APEL LASERWinner
- 3Number of bids
- RON 5,495,000Contract value
Custom Assessment Criteria
Get answers to your bid/no-bid criteria
Set them up once and Cobrief answers them in every tender
Will you bid?
The agent sets up the bid and writes the first draft. Free for 14 days.
Qualification requirements
Description
Ofertanții vor face dovada ca in ultimii 3 ani (calculați prin raportare la data limită de depunere a ofertelor) au furnizat și instalat/configurat cel puțin un echipament similar (destinat realizării proceselor de depunere de straturi subțiri de material), în baza a cel puțin un contract sau a cel mult trei contracte în valoare cumulată de cel puțin 500.000 lei fără TVA. Dacă termenul-limită se decalează (prin erată), perioada de 3 ani se extinde corespunzător. Se consideră îndeplinită cerința și pt. ofertanții care se încadrau inițial, chiar dacă ulterior experiența depășește noul interval. Pentru operatorii înființați sau activi de <3 ani, se ia în calcul doar perioada efectivă de activitate.
Documentation Requirement
Se completează DUAE. Se acceptă contracte executate ca: contractant unic, asociat sau subcontractant. DUAE trebuie să conțină: Nr. și data contractului invocat, Valoare (RON, fără TVA), Beneficiar, Tip echipament livrat/instalat, Calitate în contract, Pondere/activități asumate, Modul de îndeplinire a obligațiilor și eventuale prejudicii. Se anexează documente-suport (certificate, recomandări, documente de recepție etc.), emise de beneficiari publici/privați, însoțite de traducere autorizată (dacă sunt într-o altă limbă). Documente relevante pt. experiența similară: Recomandări, Certificări de bună execuție, Documente privind obligațiile contractuale, Recepții/acceptanțe finale. Acestea trebuie să conțină: Beneficiar, Tip echipament, Perioadă de derulare a contractului. Dacă se invocă susținerea unui terț (cf. art. 182, Legea 98/2016), acesta trebuie să demonstreze că îndeplinește cerința, prin: Angajament ferm, Documente care arată modul efectiv de susținere, Anexe la angajament. Dacă ofertantul este o asociere, cerința se poate îndeplini cumulativ. Subcontractare: Trebuie prezentate informații despre partea/partile subcontractate și datele de identificare ale subcontractanților (dacă sunt cunoscuți). Răspunderea ofertantului nu se diminuează dacă utilizează subcontractanți. Modalitate de îndeplinire: Se includ informațiile în DUAE. Dacă se bazează pe capacitățile subcontractanților, se prezintă DUAE individual pt. fiecare, completat și semnat. Acordul de subcontractare se prezintă odată cu DUAE. Subcontractanții: precizează în DUAE informații despre capacitățile puse la dispoziție, dacă nu sunt utilizați pt. capacitate, prezintă doar DUAE pt. nedovedirea motivelor de excludere. Conform art. 196 alin. (2) din Legea 98/2016, doar ofertantul clasat pe locul I va prezenta, la solicitarea autorității, documente justificative actualizate. Susținere prin terț/terți: Capacitatea tehnică/profesională poate fi susținută prin terți, în conformitate cu prevederile art. 182 din Legea nr. 98/2016, cu modificarile si completarile ulterioare (indiferent de natura relației juridice). Modalitate de îndeplinire: DUAE completat de ofertant trebuie să includă informații despre existența susținerii precum și măsurile luate pentru a accesa resursele necesare. Se atașează: Angajament ferm, DUAE al terțului cu info. relevante. Angajamentul ferm va detalia modul concret în care terțul oferă sprijin (prin activitate directă sau resurse puse la dispoziție). Autoritatea poate respinge terțul dacă nu îndeplinește cerințele sau este într-o situație de excludere. Ofertantul poate înlocui terțul o singură dată. Documentele justificative se solicită doar ofertantului clasat pe locul I. Ofertă comună (asociere): Operatorii se pot asocia pt. ofertă comună. Capacitatea tehnică/profesională se evaluează cumulat, adică pe baza resurselor cumulate ale grupului. Operatorii răspund solidar pt. execuția contractului. Modalitate de îndeplinire: Fiecare membru al asocierii completează DUAE cu info proporțional cu cota de implicare în executarea viitorului contract. Se atașează contractul/acordul de asociere, care va preciza: Răspunderea solidară și nelimitată, Liderul asocierii, Comunicare exclusiv prin lider, Modalitatea de plată între asociați, Partea din contract ce revine fiecărui asociat. La solicitarea autorității, doar ofertantul de pe locul I va prezenta documente justificative.
Source
No source found in the documents. Check the requirement against the tender documents.
Award Criteria
Description
Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) = (Pret minim ofertat / Pret n) x punctaj maxim alocat.
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Ajustare controlată a distanței dintre sursa magnetron și substrat
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Posibilitatea de ridicare a temperaturii de încălzire a substratului peste 600 °C
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Sistem planetar de manipulare a substratului
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Posibilitatea de ridicare a temperaturii de încălzire a substratului peste 250 °C
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Functionalitate integrată de curățare in-situ a camerei de depunere (ex. plasma cleaning)
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Performanța sistemului de pompare (timp de atingere a vidului înalt)
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Garanție extinsă
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Echipamentul include mai multe ferestre de observare a depunerii, din poziții diferite
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Performanța sistemului de pompare (timp de atingere a vidului înalt)
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Garanție extinsă
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Distanța dintre planul substratului și sursa de material este mai mare de 500 mm
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Posibilitatea de ridicare a temperaturii de încălzire a substratului peste 250 °C
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Performanța sistemului de pompare (timp de atingere a vidului înalt)
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Garanție extinsă
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Echipamentul include mai multe ferestre de observare a depunerii, din poziții diferite
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Sistemul de monitorizare a grosimii stratului depus are o rezolutie superioara
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Description
Sursa de evaporare e-beam oferă o putere mai mare de 5 kW
Source
No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.
Previous winners
Who are you up against?
The suppliers who have won similar contracts at I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti
From the notice
LOTUL 1: “Echipament de depunere prin vaporizare cu fascicul de electroni (“e-beam deposition”) Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda vaporizarii cu fascicul de electroni, pentru aplicații în cercetare-dezvoltare și prototipare în domeniile microelectronicii și microsistemelor de diverse tipuri (electrice, optice, mecanice). LOTUL 2: “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare destinată dezvoltării de tehnologii noi” - Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda pulverizarii catodice magnetron, fiind destinat dezvoltării și optimizarii unor procese tehnologice noi de depunere a straturilor subțiri de ordinul nanometrilor și micronilor care sa aiba puritate și calitate ridicată, conform cerințelor specifice aplicațiilor de cercetare și prototipare. LOTUL 3: “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare standard” - Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda pulverizarii catodice magnetron, fiind destinat dezvoltarilor și optimizarilor standard, conform cerințelor specifice dispozitivelor microelectronice.
Contact
Marilena Oanceamarilena.oancea@imt.ro- ResultType
- IlfovLocation
- 42665000Main codeMetal-spraying machinery