F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
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Simulatorer og trenningsutstyr
F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
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F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
Custom Assessment Criteria
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Award Criteria
Description
Massimo Spessore Substrato
Description
Numero di Contenitori per ciascuna linea sia per contenitori ad alta che a bassa pressione di vapore
Description
Numero di linee di sorgenti riscaldate per precursori a bassa pressione di vapore dotati di camicia riscaldata
Description
Temperatura massima di deposizione nella camera di reazione
Description
Numero di contenitori da 200 ml per precursori a bassa e alta pressione di vapore (fino a 8 contenitori)
Description
Risultati positivi del test di Accettazione in Fabbrica
Description
Risultati positivi del test di accettazione eseguito presso l'Università di Modena e Reggio Emilia
Description
Camera di reazione aggiuntiva per campioni di piccole dimensioni
Description
Modalità ALD all'ozono disponibile
Description
Numero di contenitori aggiuntivi (da 9 a 12)
Description
Presenza di sistema Loadlock per il caricamento dei campioni
Description
Fornitura di materiali precursori per il test di accettazione
Description
Test di deposizione dell'ossido di titanio
Description
Pompa a secco aggiuntiva
Description
Durata della garanzia > 12 mesi
Description
Possibilità di futuri aggiornamenti dell'hardware e del software di controllo
Description
Facile accesso ai componenti interni per la manutenzione e la sostituzione dei contenitori
Description
Dimensioni massime del sistema
Description
Offerta economica
Qualification requirements
Found no qualification requirements in the contract notice.
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- Contracting authority
- UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA
- Title
- F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
- Type
- Main code
- Supplemental codes
- Location
- Modena
- Estimated value
- €393,000.00
- Duration
- 180 days
No supplemental codes from buyer…