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    F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.

    UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA

    F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.

    1. Supplier selection

      Feb 6, 12:00 AMFebruary 6, 2026 12:00 AM

    2. Contract signed

      Mar 6, 12:00 AMMarch 6, 2026 12:00 AM

    3. Result notice published

      Mar 10, 2:21 PMMarch 10, 2026 2:21 PM

    Brief

    Italy: Tenders/UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA/F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.

    Awarded

    The competition has ended and a winner has been selected.

    Brief

    Simulatorer og trenningsutstyr

    L'UNIVERSITÀ DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA ha stipulato un accordo con Beneq Oy per la fornitura di un sistema di Atomic Layer Deposition (ALD) per la deposizione di materiali a film sottile per la fabbricazione di dispositivi elettronici, con un valore finale del contratto di 291.799 €. La fornitura è stata aggiudicata in base a criteri di qualità che includevano il massimo spessore del substrato, il numero di contenitori per linee ad alta e bassa pressione di vapore, il numero di linee di sorgenti riscaldate per precursori a bassa pressione di vapore, la temperatura massima di deposizione, i risultati dei test di accettazione in fabbrica e presso l'Università, la disponibilità di una camera di reazione aggiuntiva e la modalità ALD all'ozono, il numero di contenitori aggiuntivi, la presenza di un sistema Loadlock, la fornitura di materiali precursori per il test di accettazione, il test di deposizione dell'ossido di titanio, una pompa a secco aggiuntiva, la durata della garanzia, la possibilità di futuri aggiornamenti hardware e software, la facilità di accesso ai componenti interni per la manutenzione e le dimensioni massime del sistema. Hanno partecipato alla gara 2 offerenti.

    Result

    Winner
    Beneq Oy
    Number of bids
    2
    Contract value
    €291,799

    About the bid

      F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.

      Contact phone
      059 2058351 - 059 2058358 - 05
      Contact email
      areacontratti@pec.unimore.it
      Address
      Via Università n. 4, 41121 MODENA (MO)

    Custom Assessment Criteria

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    Award Criteria

    • Description

      Massimo Spessore Substrato

    • Description

      Numero di Contenitori per ciascuna linea sia per contenitori ad alta che a bassa pressione di vapore

    • Description

      Numero di linee di sorgenti riscaldate per precursori a bassa pressione di vapore dotati di camicia riscaldata

    • Description

      Temperatura massima di deposizione nella camera di reazione

    • Description

      Numero di contenitori da 200 ml per precursori a bassa e alta pressione di vapore (fino a 8 contenitori)

    • Description

      Risultati positivi del test di Accettazione in Fabbrica

    • Description

      Risultati positivi del test di accettazione eseguito presso l'Università di Modena e Reggio Emilia

    • Description

      Camera di reazione aggiuntiva per campioni di piccole dimensioni

    • Description

      Modalità ALD all'ozono disponibile

    • Description

      Numero di contenitori aggiuntivi (da 9 a 12)

    • Description

      Presenza di sistema Loadlock per il caricamento dei campioni

    • Description

      Fornitura di materiali precursori per il test di accettazione

    • Description

      Test di deposizione dell'ossido di titanio

    • Description

      Pompa a secco aggiuntiva

    • Description

      Durata della garanzia > 12 mesi

    • Description

      Possibilità di futuri aggiornamenti dell'hardware e del software di controllo

    • Description

      Facile accesso ai componenti interni per la manutenzione e la sostituzione dei contenitori

    • Description

      Dimensioni massime del sistema

    • Description

      Offerta economica

    Qualification requirements

      Found no qualification requirements in the contract notice.

    Previous Contract Winners

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    See the full notice

    Contracting authority
    UNIVERSITA' DEGLI STUDI DI MODENA E REGGIO EMILIA
    Title
    F6025 - PROCEDURA APERTA PER LAFFIDAMENTO DELLA FORNITURA DI UN SISTEMA DI ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD) PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALI A FILM SOTTILE PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI.
    Type
    ResultPrequalification
    Main code
    38970000Research, testing and scientific technical simulator
    Supplemental codes

    No supplemental codes from buyer…

    Location
    Modena
    Estimated value
    €393,000.00

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