Search

  • Search

    FEOL ETCH CLUSTER

    Imec EU Pilot line NV

    FEOL ETCH CLUSTER

    1. Competition notice published

      Sep 29, 8:00 PMSeptember 29, 2025 8:00 PM

    2. Contract signed

      Jul 16, 12:00 AMJuly 16, 2026 12:00 AM

    3. Result notice published

      Jul 19, 8:00 PMJuly 19, 2026 8:00 PM

    Brief

    Belgium: Tenders/Imec EU Pilot line NV/FEOL ETCH CLUSTER

    Awarded

    The competition has ended and a winner has been selected.

    Brief

    Laboratorie-, optisk- og presisjonsutstyr

    Imec EU Pilot line NV heeft een overeenkomst gesloten met Tokyo Electron Europe Limited voor de levering van een 300mm Dry Etch Platform, bestaande uit een Conductor Dry Ether met ICP RF Source Power en Dual Bottom Bias capability. Dit platform is bedoeld voor diverse FEOL-toepassingen voor N2 technologie nodes en verder, met name CFET-toepassingen zoals Nanosheet Etch, Full Gate Etch en Source/Drain Recess. Het platform moet minimaal 6 procesmoduleslots en 5 laadpoorten bevatten. Er zijn 3 biedingen ontvangen.

    Result

    Winner
    Tokyo Electron Europe Limited
    Number of bids
    3
    Contract value
    €0

    About the bid

      300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

      Contact phone
      +32 16287789
      Contact email
      tom.wauters@imec.be
      Address
      Kapeldreef 75, 3001 Heverlee

    Custom Assessment Criteria

    Start a free trial to ask your own questions about the tender and get AI-generated answers.

    Award Criteria

    • Description

      Zie opdrachtdocumenten

    Qualification requirements

      Found no qualification requirements in the contract notice.

    Previous Contract Winners

    Start a free trial to see who has won similar tenders for this buyer.

    See the full notice

    Contracting authority
    Imec EU Pilot line NV
    Title
    FEOL ETCH CLUSTER
    Type
    ResultPrequalification
    Main code
    38000000Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
    Supplemental codes

    No supplemental codes from buyer…

    Supplemental codes added by Cobrief

    31712352Field effect transistors (FET)
    38800000Industrial process control equipment and remote-control equipment
    38810000Industrial process control equipment
    Location
    Arr. Leuven

    Active similar competitions

    • Imec EU Pilot line NV

      FEOL PEALD PLATFORM

      Imec EU Pilot line NV needs a FEOL PEALD PLATFORM, which falls under laboratory, optical, and precision equipment, to be delivered in Arr. Leuven, Belgium.

      Competition with qualificationOct 5, 2026
      Nov 9, 2026(31 days)

    • Imec EU Pilot line NV

      LOGIC FEOL DRY ETCH CHAMBER

      Imec EU Pilot line NV needs a LOGIC FEOL DRY ETCH CHAMBER to be delivered in Arr. Leuven. Tokyo Electron Europe Limited has similar contracts today.

      Competition with qualificationSep 30, 2026
      Nov 2, 2026(24 days)

    • Technische Universiteit Eindhoven

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Wafer Level Reliability Tool

      Technische Universiteit Eindhoven needs a Wafer Level Reliability Tool for a contract duration of 3 years. The tool should be delivered and installed in Zuidoost-Noord-Brabant. Tenders will be evaluated based on Price (50%) and Quality (50%).

      CompetitionSep 29, 2026
      Oct 20, 2026(11 days)

    • Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO

      Industrimaskiner

      Metal/Backend Sputter system- second Tender

      De Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO heeft een aanbesteding uitgeschreven voor de levering van één metal-backend sputtersysteem, geschikt voor het aanbrengen van Ti- en Au-lagen op 6-inch InP-wafers, met een maximale totale contractwaarde van 1.900.000 EUR over 4 jaar. De levering vindt plaats in Nederland. De gunningscriteria zijn volledig gebaseerd op prijs (100%), aangezien TNO alle relevante kwaliteitsaspecten als minimumeisen heeft vastgelegd.

      CompetitionAug 27, 2026
      Oct 8, 2026(0 days)
      €1,900,000

    • VIB vzw

      Leveren en in bedrijf stellen van een spectral jet-in-air cell sorter

      VIB vzw heeft een aanbesteding uitgeschreven voor de levering en inbedrijfstelling van een spectral jet-in-air cell sorter, met een contractduur van 3 maanden. De levering vindt plaats in Arr. Gent. De gunningscriteria zijn Prijs (30%), Technische specificaties/maturiteit van het toestel (35%), Technische ondersteuning/garantie/dienst na verkoop (25%), Leveringstermijn (5%) en Duurzaamheid (5%). Kandidaten moeten minimaal drie referenties van gelijkaardige leveringen van de afgelopen vijf jaar kunnen voorleggen, een verklaring over milieubeheermaatregelen en een verklaring over kwaliteitswaarborgingsmaatregelen, of een geldig ISO 9001 (versie 2015) certificaat.

      CompetitionSep 21, 2026
      Oct 23, 2026(14 days)