Fornitura di un Sistema di litografia a fascio di elettroni per la fabbricazione di maschere fotolitografiche e la scrittura diretta di pattern submicromentrici (e-Beam Lithography)
Awarded
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Laboratorie-, optisk- og presisjonsutstyr
Gara europea a procedura aperta ai sensi dell'art. 71 D.lgs. 36/2023 per l'affidamento della fornitura di un Sistema di litografia a fascio di elettroni per la fabbricazione di maschere fotolitografiche e la scrittura diretta di pattern submicromentrici (e-Beam Lithography)
Result
- Winner
- SEMTech Solutions, Inc.
- Number of bids
- 1
- Contract value
- €1,050,000
About the bid
- Contact phone
- 0110906374
- Contact email
- appalti-ue@polito.it
- Address
- Corso Duca degli Abruzzi n. 24, 10100 TORINO (TO)
Gara europea a procedura aperta ai sensi dell'art. 71 D.lgs. 36/2023 per l'affidamento della fornitura di un Sistema di litografia a fascio di elettroni per la fabbricazione di maschere fotolitografiche e la scrittura diretta di pattern submicromentrici (e-Beam Lithography)
Custom Assessment Criteria
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Award Criteria
Description
Prezzo
Description
Prestazioni e risultati del sistema complessivo.
Description
Criteri relativi alla colonna elettro-ottica.
Sub-criteria
Description
Sistema di Controllo del fascio.
Description
Velocità di scansione.
Description
Incremento della corrente del fascio.
Description
Corrente del fascio.
Description
Criteri relativi alla camera di esposizione.
Sub-criteria
Description
Caratteristiche Porta campioni.
Description
Stage per la movimentazione dei campioni.
Description
Risoluzione dello stage in XY.
Description
Risoluzione dello stage in Z.
Description
Caricamento dei campioni.
Description
Estensione garanzia.
Qualification requirements
Found no qualification requirements in the contract notice.
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- Contracting authority
- Amministrazione Centrale - Politecnico di Torino - AQUI Appalti
- Title
- Fornitura di un Sistema di litografia a fascio di elettroni per la fabbricazione di maschere fotolitografiche e la scrittura diretta di pattern submicromentrici (e-Beam Lithography)
- Type
- Main code
- Supplemental codes
- Location
- Torino
- Estimated value
- €1,050,000.00
No supplemental codes from buyer…