Elektronenstrahllithografie

Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, benötigt ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM). Die Lieferung erfolgt in Erlangen. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Preis (60%) und Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog (40%). Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu ähnlichen Lieferungen erforderlich.

Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer

Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, benötigt eine Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer zur Abscheidung verschiedener Materialien auf Probenoberflächen. Die Lieferung soll in Erlangen erfolgen. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Preis (70 %) und Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog (30 %). Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu spezifischen Lieferungen erforderlich.

Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

Die Technische Universität Braunschweig benötigt die Aufrüstung und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage. Die Lieferung der Güter erfolgt in Braunschweig, Deutschland. Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu den angebotenen Dienstleistungen mittels Eigenerklärung einzureichen.

Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie

Die Westsächsische Hochschule Zwickau benötigt die Lieferung eines Hochtemperatur/LP-CVD-Systems für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie, das in Zwickau geliefert werden soll. Die Vertragslaufzeit beträgt 60 Wochen. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Leistungsparameter (60 %), Preis (30 %) und Lieferzeit (10 %).

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Die Technische Universität München benötigt die Lieferung von Labor-, optischen und Präzisionsgeräten für einen Zeitraum von 6 Monaten in München. Die Beschaffung umfasst zwei Lose: Los 1 betrifft ein kryogenfreies Hochfeld-Kryostatsystem für ortsaufgelöste magnetooptische Untersuchungen an niedrigdimensionalen Materialien, und Los 2 ein modulares Streakkamera-System zur zeitaufgelösten Detektion ultrakurzer optischer Signale. Die Zuschlagskriterien sind Preis (50 %) und Liefer- und Installationszeitpunkt (50 %). Bewerber müssen mindestens fünf vergleichbare Referenzen aus den letzten fünf Geschäftsjahren vorweisen, die kryogenfreie Closed-Cycle-Kryostate in hochauflösender optischer Mikroskopie bei Magnetfeldern von mehr als 1 T betreffen.