Laserlithographie
Zuschlag erteilt
Das Vergabeverfahren ist beendet und ein Gewinner wurde ausgewählt.
- Zuschlag
- Qualität und Service 50 %
- Verfahrensart
- OffenEinstufig
- Vertrag
- Einkauf von Waren
Brief
Das Deutsche Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat eine Vereinbarung mit Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH über die Lieferung einer Laserlithographieanlage getroffen. Diese Anlage ist für die Ausstattung eines Reinraums in Ulm vorgesehen, um eine Mikrostrukturierungsprozesskette für die Herstellung kompakter Quantensysteme zu etablieren, einschließlich direkter Lithographie auf Substraten mit hoher Auflösung und der Herstellung von UV-Lithographiemasken. Der Zuschlag erfolgte auf Basis einer Bewertung von Preis (50%), Qualität (30%) und Service (20%). Es gingen zwei Angebote ein.
Ergebnis
- Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbHGewinner
- 2Anzahl Angebote
- 0 €Vertragswert
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Qualifikationsanforderungen
Beschreibung
Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister.
Dokumentationsanforderung
Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate sein) oder ein vergleichbares Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen.
Quelle
Keine Quelle in den Unterlagen gefunden. Prüfe die Anforderung anhand der Vergabeunterlagen.
Zuschlagskriterien
Beschreibung
Preis 50%
Quelle
Keine Quelle in den Unterlagen gefunden. Prüfe die Gewichtung anhand der Vergabeunterlagen.
Beschreibung
Zusammengesetzt aus: Qualität 30% Service 20%
Unterkriterien
- Qualität30 %
Qualität 30%
- Service20 %
Service 20%
Quelle
Keine Quelle in den Unterlagen gefunden. Prüfe die Gewichtung anhand der Vergabeunterlagen.
Frühere Gewinner
Gegen wen treten Sie an?
Die Anbieter, die ähnliche Aufträge bei Deutsches Zentrum für Luft-und Raumfahrt e. V. | TI-ZVM gewonnen haben
Aus der Bekanntmachung
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Kontakt
evergabe@dlr.de- ErgebnisTyp
- Ulm, StadtkreisOrt
- 38000000HauptcodeLaborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
- 38600000Optische Instrumente38636100Laser