Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

Le CEA Grenoble a besoin d'un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique pour une durée de 15 mois, destiné au dépôt de métaux et de nitrures métalliques sur des plaquettes de 300 mm (ou 200 mm avec adaptateurs) pour ses activités de recherche sur les technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà. L'équipement doit inclure une solution de nettoyage avant le dépôt. Le marché comprend une option obligatoire pour une formation de maintenance de niveau 1, et des options facultatives pour des échangeurs de chaleur, des systèmes de refroidissement, un transformateur électrique, une formation de maintenance avancée, des services de maintenance préventive et corrective, une extension de garantie d'un an, et le transport avec assurance DAP CEA Grenoble.

Acquisition et mise en service d’un cryostat à circuit fermé d'hélium (1K) dédié à la caractérisation de circuits photoniques intégrés pour le CEA de GRENOBLE.

Le CEA Grenoble a besoin d'acquérir et de mettre en service un cryostat à circuit fermé d'hélium (1K) dédié à la caractérisation de circuits photoniques intégrés, pour une durée de 15 mois. Cet équipement est destiné à la recherche dans le cadre du projet OQULUS (PEPR Technologies Quantiques) et sera utilisé pour la caractérisation de composants et circuits photoniques intégrés comportant des détecteurs de photons uniques à nanofils supraconducteurs (SNSPD), nécessitant un environnement cryogénique à moins de 1K. Le marché inclut plusieurs options facultatives telles que l'isolation aux vibrations, l'accélération de la mise à froid/réchauffement, la réduction des vibrations, la mise à niveau de l'unité de dilution, l'insonorisation, l'extension de garantie, des lignes RF semi-rigides, un LNA cryogénique, un Bias tee cryogénique, un filtre passe-bas cryogénique et une Breakout box avec câble Fischer. Le prix n'est pas le seul critère d'attribution.

Fourniture d’un microscope électronique à balayage et ses détecteurs analytiques

Le CEA Grenoble a besoin d'un microscope électronique à balayage et de ses détecteurs analytiques pour une durée de 12 mois. Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.

Fourniture d'un Microscope 3D

Le CEA Grenoble a besoin de la fourniture d'un microscope 3D pour l'observation et les mesures sans contact de structures de très petites dimensions, destiné au Département Optique et PhoTonique (DOPT) de l'institut LETI en Isère, France. Ce microscope est essentiel pour la caractérisation rapide des étapes technologiques des dispositifs dans les domaines des capteurs d'images infrarouges et visibles, des technologies optiques et d'éclairage, des technologies de visualisation et de la photonique sur silicium. Les critères d'attribution ne sont pas uniquement basés sur le prix et sont détaillés dans les documents du marché.

Acquisition d’un bâti de dépôt de couches minces selon un procédé de type PECVD pour l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (UMR5270 INL-CNRS)

Le CNRS Rhône Auvergne a besoin d'acquérir un bâti de dépôt de couches minces selon un procédé de type PECVD pour l'Institut des Nanotechnologies de Lyon (UMR5270 INL-CNRS). Le contrat a une durée de 12 mois. Les offres seront évaluées sur la valeur technique, le prix et la démarche environnementale.