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France: Tenders/Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives/Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

  1. Competition notice published

    Aug 10, 5:43 PMAugust 10, 2026 5:43 PM

  2. Qualification deadline

    Sep 11, 10:00 AMSeptember 11, 2026 10:00 AM

  3. Tender submission deadline

    Comes with the invitation

Brief

Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

Published deadline passed

The published deadline has passed. For multi-stage competitions a later tender deadline may still apply — check the notice or portal for the current phase.

Qualification deadline
Sep 11,Expired
Procedure
With negotiationTwo stages
Agreement
Buying goodsover 15 months

Brief

Le CEA Grenoble a besoin d'un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique pour une durée de 15 mois, destiné au dépôt de métaux et de nitrures métalliques sur des plaquettes de 300 mm (ou 200 mm avec adaptateurs) pour ses activités de recherche sur les technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà. L'équipement doit inclure une solution de nettoyage avant le dépôt. Le marché comprend une option obligatoire pour une formation de maintenance de niveau 1, et des options facultatives pour des échangeurs de chaleur, des systèmes de refroidissement, un transformateur électrique, une formation de maintenance avancée, des services de maintenance préventive et corrective, une extension de garantie d'un an, et le transport avec assurance DAP CEA Grenoble.

Elektrisk utstyr og belysning

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  • Description

    Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché.

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Previous winners

  • Who are you up against?

    The suppliers who have won similar contracts at Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

From the notice

  • Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : - Option 2 – Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 3 – Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 4 – Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 5 – Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) - Option 6 – Extension de garantie d’une année supplémentaire - Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)

  • Contact

    Mme JOLLY Nadègenadege.jolly@cea.fr
  • Type
    Competition · Prequalification
  • Location
    Isère
  • Main code
    Microelectronic machinery and apparatus
    31712100

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