Delivery and installation of a ICP Reactive ion etcher for silicon dielctrics

Danmarks Tekniske Universitet - DTU needs an ICP Reactive ion etcher for silicon dielectrics, to be delivered and installed in the DTU Nanolab cleanroom in the Copenhagen area. The instrument must support the full spectrum of etching of silicon-based dielectrics, from sub 100 nm nanostructures to depths of several tens of microns, requiring exceptional process controllability and tunability for ultra-precise, low-rate etches (< 100 nm/min) and high etch rate deep etches (approaching 500 nm/min). It must accommodate all silicon dielectrics of the form SixNy, SixOx, and SixOyNz, and be compatible with mask materials including Si, Cr, e-beam resists, and UV/DUV photoresists with high mask selectivity. The instrument must be configured for 150 mm wafer processing, with an option for a complete kit for 200 mm wafer processing. DTU will also have the option to purchase one additional identical instrument. Award criteria are Functionality and performance (50%), Quality of submitted samples (30%), and Price (20%).

Electrode production pilot line

De Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO heeft een aanbesteding uitgeschreven voor de levering van een complete pilotproductielijn voor elektroden, inclusief slurry-menging, coating, kalanderen en slitten. De contractduur is 2 jaar, met een optie voor een onderhoudscontract van 1 jaar, jaarlijks verlengbaar tot een maximale totale duur van 13 jaar. De levering dient te geschieden volgens Incoterm ‘Delivered Duty Paid’ (DDP, 2020) op locatie TNO Helmond. De gunningscriteria zijn prijs (TP1: 30% voor de productielijn inclusief 24 maanden garantie, onderhoud, CDR, documentatie, FAT, SAT, installatie, inbedrijfstelling en training; TP2: 10% voor onderhoud/diensten) en kwaliteit (60%).

Leveren en in bedrijf stellen van een spectral jet-in-air cell sorter

VIB vzw heeft een aanbesteding uitgeschreven voor de levering en inbedrijfstelling van een spectral jet-in-air cell sorter, met een contractduur van 3 maanden. De levering vindt plaats in Arr. Gent. De gunningscriteria zijn Prijs (30%), Technische specificaties/maturiteit van het toestel (35%), Technische ondersteuning/garantie/dienst na verkoop (25%), Leveringstermijn (5%) en Duurzaamheid (5%). Kandidaten moeten minimaal drie referenties van gelijkaardige leveringen van de afgelopen vijf jaar kunnen voorleggen, een verklaring over milieubeheermaatregelen en een verklaring over kwaliteitswaarborgingsmaatregelen, of een geldig ISO 9001 (versie 2015) certificaat.

LOGIC FEOL DRY ETCH CHAMBER

Imec EU Pilot line NV needs a LOGIC FEOL DRY ETCH CHAMBER to be delivered in Arr. Leuven. Tokyo Electron Europe Limited has similar contracts today.

Aankoop, levering en installatie van een inert-gas werkstation voor de verwerking van optische materialen en de fabricage van fotonische componenten in de geplande uitbreiding van de cleanroom van de Universiteit Gent

De Universiteit Gent heeft een aanbesteding uitgeschreven voor de aankoop, levering en installatie van een inert-gas werkstation voor de verwerking van optische materialen en de fabricage van fotonische componenten. Dit werkstation is bestemd voor de geplande uitbreiding van de cleanroom van de Universiteit Gent in Arr. Gent. De gunningscriteria zijn prijs (40%), technische kwaliteit (40%), leveringsmodaliteiten (10%) en onderhoud (10%).