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    FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

    FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    1. Wettbewerbsbekanntmachung veröffentlicht

      11. sep. kl. 09:2611. september 2026 kl. 09:26
    2. Teilnahmefrist

      13. okt. kl. 21:5913. oktober 2026 kl. 21:59
    3. Aufforderung zur Angebotsabgabe

      19. okt. kl. 22:0019. oktober 2026 kl. 22:00
    4. Vertragsbeginn

      11. mars kl. 00:0011. mars 2027 kl. 00:00
    5. Vertragsende

      11. mars kl. 00:0011. mars 2028 kl. 00:00

    Brief

    Deutschland: Ausschreibungen/Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik/FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Brief

    Anleggsmaskiner og utstyr

    Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

    Über das Angebot

      Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.

      Kontaktperson
      Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
      Kontakttelefon
      +49 30 6392-2610
      Kontakt-E-Mail
      Karolin.Munzert@FBH-Berlin.de
      Adresse
      Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

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    Zuschlagskriterien

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    Qualifikationsanforderungen

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    Auftraggeber
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Titel
    FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Typ
    WettbewerbRahmenvereinbarungPräqualifikation
    Hauptcode
    42990000Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
    Zusätzliche Codes

    Keine zusätzlichen Codes vom Käufer…

    Ort
    Berlin

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    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Laboratorie- og analyseutstyr

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      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      Planung9. juni 2026944.000 €
    • Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 - Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle

      Elektrisk utstyr og belysning

      Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

      Die Technische Universität Braunschweig benötigt die Aufrüstung und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage. Die Lieferung der Güter erfolgt in Braunschweig, Deutschland. Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu den angebotenen Dienstleistungen mittels Eigenerklärung einzureichen.

      Wettbewerb23. sep. 2026
      29. okt. 2026(21 Tage)
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      Das Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt die Lieferung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie in Berlin. Der Vertrag hat eine Laufzeit von 6 Monaten. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Qualität (50%) und Preis (50%). Als Qualifikationsanforderungen sind mindestens 2 Referenzen aus den letzten vier Jahren über die Installation und Inbetriebnahme eines CL-Systems an einem REM-System innerhalb der EU nachzuweisen, wobei zwei Referenzen die Installation an REM-Systemen unterschiedlicher Hersteller belegen müssen. Des Weiteren ist der Nachweis einer gültigen Haftpflichtversicherung sowie eine Unternehmensdarstellung mit mindestens einem Standort innerhalb der EU zur Sicherstellung von Service und Support erforderlich.

      Wettbewerb mit Qualifikation25. sep. 2026
      26. okt. 2026(18 Tage)
    • IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

      IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and high-frequency characterization of 200-mm wafers for research and laboratory use. The system, to be delivered to Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt, Germany, must include a 200-mm wafer prober with vacuum chuck and precision positioning, individual probes, multi-contact probes for RF measurements up to at least 6 GHz, a probe card system, automated microscopy and camera equipment, as well as control and software components. The scope of supply also includes transport, installation, commissioning, training, documentation, warranty, and spare-parts supply.

      Wettbewerb28. sep. 2026
      29. okt. 2026(21 Tage)
    • IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

      IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system should support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and integrate with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training, and integration support. The delivery, installation, commissioning, and integration will take place in Frankfurt (Oder), Germany.

      Wettbewerb11. sep. 2026
      13. okt. 2026(5 Tage)