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    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

    1–27 von 27 Bekanntmachungen

    Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    —
    —
    05.10.2026
    -
    Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    —
    —
    05.10.2026
    48 Monate
    Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Absichtserklärung
    -
    Aktiv
    —
    —
    01.10.2026
    -
    FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Wettbewerbsbekanntmachung
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    —
    13.10.2026
    11.09.2026
    -
    Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Stornierung oder fehlende Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    1.000.000 €
    —
    02.09.2026
    -
    Beschaffung von Hardware im Rahmen des Vorhabens BECCAL
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    -
    Aktiv
    —
    —
    10.08.2026
    -
    Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    220.000 €
    —
    03.08.2026
    48 Monate
    Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    —
    —
    24.06.2026
    48 Monate
    Lieferung eines LD Bar Stacker einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Stornierung oder fehlende Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    —
    —
    11.06.2026
    -
    Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Stornierung oder fehlende Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Aktiv
    —
    —
    11.06.2026
    -
    Prior Information Notice – RF Measurement System for On-Wafer Characterisation
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    650.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Prior Information Notice – RF On-Wafer Probe Station
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    350.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Prior Information Notice – Eddy Current Wafer Mapping System
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    248.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Prior Information Notice – Sputter Deposition
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    4.128.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    510.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Prior Information Notice – Laser Manufacturing System for Wafer Processing
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    1.292.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Prior Information Notice – Wafer Dicing Equipment
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    275.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Prior Information Notice – Wafer Thinning Equipment
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    250.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    1.710.000 €
    01.09.2026
    10.06.2026
    -
    Vorinformation – Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für Halbleiterprozesse
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    1.386.000 €
    01.09.2026
    09.06.2026
    -
    Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Aktiv
    944.000 €
    —
    09.06.2026
    -
    Prior Information Notice – Rapid Thermal Processing Equipment (RTA)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Beratende Bekanntmachung
    -
    Abgelaufen
    593.000 €
    01.09.2026
    09.06.2026
    -
    Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Abgelaufen
    500.000 €
    29.03.2026
    30.03.2026
    -
    Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    Rahmenvereinbarung
    Abgelaufen
    1.000.000 €
    29.03.2026
    30.03.2026
    -
    Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Absichtserklärung
    Rahmenvereinbarung
    Abgelaufen
    —
    25.02.2026
    26.02.2026
    48 Monate
    APECS FBH-06. 2. 4 Weißlichtinterferometer
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    -
    Abgelaufen
    —
    05.11.2025
    06.11.2025
    -
    optischer Frequenzkamm_Krutzik
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Bekanntmachung der Auftragsvergabe
    -
    Abgelaufen
    500.000 €
    21.07.2025
    22.07.2025
    -