Search

  • Search

    FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

    FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)

    1. Planning notice published

      Jun 10, 5:55 AMJune 10, 2026 5:55 AM

    2. Planned competition start

      Sep 1, 12:00 AMSeptember 1, 2026 12:00 AM

    Brief

    Germany: Tenders/Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik/FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)

    Published deadline passed

    The published deadline has passed. For multi-stage competitions a later tender deadline may still apply — check the notice or portal for the current phase.

    Brief

    Anleggsmaskiner og utstyr

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik is planning the procurement of a wet chemical processing tool for single wafer etching, intended for processing compound semiconductor materials like InP, GaAs, AlGaAs, and GaN. The tool must enable highly precise and reproducible etching processes on a per-wafer basis, including endpoint detection functionality, and be compatible with ISO class 5 cleanroom requirements. The estimated maximum total contract value is 1,710,000 EUR.

    About the bid

      The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a wet chemical processing tool for single wafer etching within the framework of the EU-funded APECS programme. The system is intended for the processing of compound semiconductor materials such as InP, GaAs, AlGaAs, and GaN. The tool will enable highly precise and reproducible etching processes on a per-wafer basis, including endpoint detection functionality. Compared to batch processing, the single wafer approach ensures improved process control and reproducibility, which is essential for low-volume, high-precision semiconductor manufacturing. The equipment will be installed in an existing cleanroom environment and must be compatible with ISO class 5 requirements. The procurement procedure is planned for 2026.

      Contact name
      Kerstin Tobis
      Contact phone
      +493063928384
      Contact email
      vergabe@fbh-berlin.de
      Address
      Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

    Custom Assessment Criteria

    Start a free trial to ask your own questions about the tender and get AI-generated answers.

    Award Criteria

      Found no award criteria in the contract notice.

    Qualification requirements

      Found no qualification requirements in the contract notice.

    Previous Contract Winners

    Start a free trial to see who has won similar tenders for this buyer.

    See the full notice

    Contracting authority
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Title
    FBH-02 Prior Information Notice – Wet Chemical Processing Tool (Single Wafer Etching)
    Type
    Planning
    Main code
    42990000Miscellaneous special-purpose machinery
    Supplemental codes

    No supplemental codes from buyer…

    Estimated value
    €1,710,000.00

    Active similar competitions

    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      PlanningJun 9, 2026€944,000

    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Anleggsmaskiner og utstyr

      FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      Framework agreement with qualificationSep 11, 2026
      Oct 13, 2026(5 days)

    • IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

      IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and high-frequency characterization of 200-mm wafers for research and laboratory use. The system, to be delivered to Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt, Germany, must include a 200-mm wafer prober with vacuum chuck and precision positioning, individual probes, multi-contact probes for RF measurements up to at least 6 GHz, a probe card system, automated microscopy and camera equipment, as well as control and software components. The scope of supply also includes transport, installation, commissioning, training, documentation, warranty, and spare-parts supply.

      CompetitionSep 28, 2026
      Oct 29, 2026(21 days)

    • IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

      IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system should support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and integrate with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training, and integration support. The delivery, installation, commissioning, and integration will take place in Frankfurt (Oder), Germany.

      CompetitionSep 11, 2026
      Oct 13, 2026(5 days)

    • Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Neubeschaffung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie

      Das Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt die Lieferung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie in Berlin. Der Vertrag hat eine Laufzeit von 6 Monaten. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Qualität (50%) und Preis (50%). Als Qualifikationsanforderungen sind mindestens 2 Referenzen aus den letzten vier Jahren über die Installation und Inbetriebnahme eines CL-Systems an einem REM-System innerhalb der EU nachzuweisen, wobei zwei Referenzen die Installation an REM-Systemen unterschiedlicher Hersteller belegen müssen. Des Weiteren ist der Nachweis einer gültigen Haftpflichtversicherung sowie eine Unternehmensdarstellung mit mindestens einem Standort innerhalb der EU zur Sicherstellung von Service und Support erforderlich.

      Competition with qualificationSep 25, 2026
      Oct 26, 2026(18 days)