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France: Tenders/Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives/Fourniture d'un équipement de gravure profonde

  1. Competition notice published

    Nov 28, 2025 6:47 PMNovember 28, 2025 6:47 PM

  2. Change in competition

    Dec 18, 2025 8:25 AMDecember 18, 2025 8:25 AM

  3. Contract signed

    Aug 18, 12:00 AMAugust 18, 2026 12:00 AM

  4. Result notice published

    Sep 3, 12:36 PMSeptember 3, 2026 12:36 PM

Brief

Fourniture d'un équipement de gravure profonde

Awarded

The competition has ended and a winner has been selected.

Award
Performance technique Process 2, 4, 6 23% and 3 more
Procedure
With negotiationTwo stages
Agreement
Buying goodsover 1 year

Brief

Le CEA Grenoble a attribué un contrat à KLA CORPORATION pour la fourniture d'un équipement de gravure profonde de 200 mm, d'une durée de 12 mois, pour un montant final de 1 €. L'équipement doit être capable d'effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés, et graver à travers la plaquette. Il doit également pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, incluant des plaquettes collées, des plaquettes d'épaisseurs variées, des plaquettes avec des couches organiques au dos et des plaquettes avec des cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal. Deux offres ont été reçues pour ce contrat.

Elektrisk utstyr og belysning

Result

TED
  • KLA CORPORATION
    Winner
  • Number of bids
    2
  • Contract value
    €1

Custom Assessment Criteria

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Award Criteria

  • Description

    Prix de l'équipement : 45 %

    Source

    No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.

  • Description

    Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des Process 2 « MEMS Comb », 4 «Through Si wide area » et 6 « Via reveal (Copper nail) » : 23%

    Source

    No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.

  • Description

    Performance technique de l’offre pour atteindre les spécifications des Process 1 « TSV last », 3 « MEMS Beam », 5 « Trench High Aspect Ratio » et 7 « No Bosch Trench » : 12%

    Source

    No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.

  • Description

    Performance économique du cout de la maintenance en full service proposée : 10 %

    Source

    No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.

  • Description

    Qualité de la configuration matérielle et de la capacité hardware de l’équipement : 10%

    Source

    No source found in the documents. Check the weight against the tender documents.

Previous winners

  • Who are you up against?

    The suppliers who have won similar contracts at Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

From the notice

  • Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.

  • Contact

    Mme. Laure REYNAUDlaure.reynaud@cea.fr
  • Type
    Result · Prequalification
  • Location
    Isère
  • Main code
    Microelectronic machinery and apparatus
    31712100

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