Maintenance annuelle du MET FEG JEOL 2100F

Un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour le Centre de MicroNanoTechnologie

L'EPFL-Scientific Equipment a besoin d'un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi) en Suisse, dans le canton de Vaud. Cet équipement est destiné à la recherche de pointe en micro et nano fabrication, notamment pour la gravure de couches de Chrome sur des masques/réticules de lithographie et des wafers de diverses dimensions. Une grande importance est accordée à la qualité des gravures, à la prévention des contaminations croisées, à la facilité d'utilisation et à la flexibilité du contrôle des procédés dans un environnement de R&D. La proximité, la réactivité et le support du fournisseur seront également évalués.

Acquisition d'un équipement de gravure plasma pour matériaux isolants et piézoélectriques

Le CNRS-Délégation Centre-Est a besoin d'un équipement de gravure plasma pour matériaux isolants et piézoélectriques pour les besoins de FEMTO-ST, à livrer en Meurthe-et-Moselle et dans le Doubs. Les critères d'attribution sont la valeur technique (51%, dont 31% pour les performances et 20% pour les spécificités techniques), le prix (25%), le service/équipementier (14%, dont 9% pour la maintenance et le support technique et 5% pour l'expérience du fabricant et la qualité du rapport), et la performance environnementale (10%).

Acquisition d’un microscope électronique à balayage avec canon à effet de champ équipé pour la microanalyse X

L'Université de Tours a besoin de l'acquisition d'un microscope électronique à balayage avec canon à effet de champ équipé pour la microanalyse X, pour une durée de 9 mois. La livraison aura lieu en Indre-et-Loire. Les critères d'attribution sont le prix (12,5% et 15%), la valeur technique (32,5% et 30%) et les critères environnementaux (5% et 5%).