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    Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

    Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System

    1. Planning notice published

      Jun 10, 8:03 AMJune 10, 2026 8:03 AM

    2. Planned competition start

      Sep 1, 12:00 AMSeptember 1, 2026 12:00 AM

    Brief

    Germany: Tenders/Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik/Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System

    Published deadline passed

    The published deadline has passed. For multi-stage competitions a later tender deadline may still apply — check the notice or portal for the current phase.

    Brief

    Anleggsmaskiner og utstyr

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik is planning the procurement of a high-performance maskless laser lithography system for high-resolution patterning of semiconductor wafers to support the development of advanced heterointegration technologies. The system must provide sub-micron precision combined with high throughput, support modern multi-beam laser writing technologies, and comply with ISO class 5 requirements for installation in a cleanroom environment. The estimated maximum total contract value is 510,000 EUR.

    About the bid

      The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a high-performance maskless laser lithography system within the framework of the EU-funded APECS programme. The system will be used for high-resolution patterning of semiconductor wafers to support the development of advanced heterointegration technologies, including InP- and GaAs-based chiplets. It is intended to enable rapid prototyping as well as efficient processing of wafers with diameters up to 200 mm. The equipment must provide sub-micron precision combined with high throughput and support modern multi-beam laser writing technologies. It will be installed in a cleanroom environment and must comply with ISO class 5 requirements. The procurement procedure is planned for 2026.

      Contact name
      Kerstin Tobis
      Contact phone
      +493063928384
      Contact email
      kerstin.tobis@fhb-berlin.de
      Address
      Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

    Custom Assessment Criteria

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    Award Criteria

      Found no award criteria in the contract notice.

    Qualification requirements

      Found no qualification requirements in the contract notice.

    Previous Contract Winners

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    See the full notice

    Contracting authority
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Title
    Prior Information Notice – Maskless Laser Lithography System
    Type
    Planning
    Main code
    42990000Miscellaneous special-purpose machinery
    Supplemental codes

    No supplemental codes from buyer…

    Estimated value
    €510,000.00

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