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    Prior Information Notice – Sputter Deposition

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

    Prior Information Notice – Sputter Deposition

    1. Planning notice published

      Jun 10, 9:46 AMJune 10, 2026 9:46 AM

    2. Planned competition start

      Sep 1, 12:00 AMSeptember 1, 2026 12:00 AM

    Brief

    Germany: Tenders/Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik/Prior Information Notice – Sputter Deposition

    Published deadline passed

    The published deadline has passed. For multi-stage competitions a later tender deadline may still apply — check the notice or portal for the current phase.

    Brief

    Anleggsmaskiner og utstyr

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik is planning the procurement of a sputter deposition system for depositing metallic and insulating thin films on semiconductor wafers up to 200 mm in diameter, to support advanced heterogeneous integration technologies. The system needs to be a multi-chamber cluster system with integrated cleaning and deposition capabilities, compatible with semiconductor manufacturing requirements for installation in a cleanroom environment. The estimated maximum total contract value is 4,128,000 EUR.

    About the bid

      The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a sputter deposition system within the framework of the EU-funded APECS programme. The system will be used for the deposition of metallic and insulating thin films on semiconductor wafers with diameters of up to 200 mm. It is intended to support advanced heterogeneous integration technologies, including InP-on-Si (BiCMOS) platforms. The equipment shall enable highly controlled thin-film processes such as metallization, interconnect formation, passivation and barrier layer deposition. A multi-chamber cluster system with integrated cleaning and deposition capabilities is required to ensure high process quality and contamination control. The system will be installed in a cleanroom environment and must be compatible with semiconductor manufacturing requirements. The procurement procedure is planned for 2026.

      Contact name
      Kerstin Tobis
      Contact phone
      03063928384
      Contact email
      kerstin.tobis@fbh-berlin.de
      Address
      Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

    Custom Assessment Criteria

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    Award Criteria

      Found no award criteria in the contract notice.

    Qualification requirements

      Found no qualification requirements in the contract notice.

    Previous Contract Winners

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    Contracting authority
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Title
    Prior Information Notice – Sputter Deposition
    Type
    Planning
    Main code
    42990000Miscellaneous special-purpose machinery
    Supplemental codes

    No supplemental codes from buyer…

    Estimated value
    €4,128,000.00

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