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    Reaktives Ionenätzen

    Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg

    Reaktives Ionenätzen

    1. Wettbewerbsbekanntmachung veröffentlicht

      Aug 26, 10:25 AMAugust 26, 2026 10:25 AM

    2. Zuschlagsentscheidung

      Sep 18, 12:00 AMSeptember 18, 2026 12:00 AM

    3. Vertragsunterzeichnung

      Sep 18, 12:00 AMSeptember 18, 2026 12:00 AM

    4. Ergebnisbekanntmachung veröffentlicht

      Sep 22, 7:26 AMSeptember 22, 2026 7:26 AM

    5. Vertragsbeginn

      Oct 13, 12:00 AMOctober 13, 2026 12:00 AM

    6. Vertragsende

      Jun 21, 12:00 AMJune 21, 2027 12:00 AM

    Brief

    Deutschland: Ausschreibungen/Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg/Reaktives Ionenätzen

    Zuschlag erteilt

    Das Vergabeverfahren ist beendet und ein Gewinner wurde ausgewählt.

    Brief

    Anleggsmaskiner og utstyr

    Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, hat mit der Oxford Instruments GmbH eine Vereinbarung über die Lieferung von reaktiven Ionenätzsystemen getroffen. Die Lieferung erfolgt in Erlangen, Kreisfreie Stadt. Die Systeme sind für die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" konzipiert und erfordern entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie. Zudem ist eine aktive Helium-Rückseitenkühlung für nanophotonische Wellenleiter sowie eine schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch") zur Erhaltung der Kristallqualität bei FIB-implantierten Defekten erforderlich. Für die Strukturierung von Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant und SiC wird eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse benötigt, um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist für die Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern vorgesehen. Es wurde ein Angebot erhalten.

    Ergebnis

    Gewinner
    Oxford Instruments GmbH
    Anzahl Angebote
    1
    Vertragswert
    0 €

    Über das Angebot

      Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.

      Kontaktperson
      Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
      Kontakttelefon
      +49 91318571177
      Kontakt-E-Mail
      AQUT-info@fau.de
      Adresse
      Konrad-Zuse-Straße 3-5, 91052 Erlangen

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    Zuschlagskriterien

    • Beschreibung

      Preis

    • Beschreibung

      https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/awardcriteria

    Qualifikationsanforderungen

    • Beschreibung

      Leverandøren må kunne vise til referanseprosjekter / erfaring fra sammenlignbare oppdrag.

      Dokumentationsanforderung

      https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/suitabilitycriteria

    • Beschreibung

      Leverandøren må ha tilgang til studie-, tekniske og forskningsfasiliteter, spesifikt et applikasjonsrenrom.

    • Beschreibung

      Leverandøren skal ha et 3. parts sertifisert miljøledelsessystem eller- standard.

      Dokumentationsanforderung

      Umweltzertifizierung

    Frühere Zuschlagsempfänger

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    Auftraggeber
    Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
    Titel
    Reaktives Ionenätzen
    Typ
    ErgebnisPräqualifikation
    Hauptcode
    31720000Elektromechanische Ausrüstung
    Zusätzliche Codes
    22520000Trockenätzausrüstung
    Ort
    Erlangen, Kreisfreie Stadt

    Aktive ähnliche Ausschreibungen

    • Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg

      Laboratorieutstyr og analyseinstrumenter

      Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer

      Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, benötigt eine Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer zur Abscheidung verschiedener Materialien auf Probenoberflächen. Die Lieferung soll in Erlangen erfolgen. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Preis (70 %) und Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog (30 %). Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu spezifischen Lieferungen erforderlich.

      WettbewerbOct 5, 2026
      Nov 5, 2026(26 Tage)

    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Anleggsmaskiner og utstyr

      FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      Rahmenvereinbarung mit QualifikationSep 11, 2026
      Oct 13, 2026(3 Tage)

    • Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Anschaffung eines Femtosekunden-Laser-Systems mit Ti.Sa-Verstärkungssystems (Fachlos 1) und eines Detektionssystem (Fachlos 2)

      Das Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. benötigt die Lieferung, Installation und Einweisung eines Femtosekunden-Laser-Systems mit Ti:Sa-Verstärkungssystem (Los 1) und eines Detektionssystems (Los 2) in Dresden. Diese Neugeräte sind für die Untersuchung nichtlinearer optischer Parameter vorgesehen. Light Conversion hat heute einen ähnlichen Vertrag. Die Zuschlagskriterien sind technische Eigenschaften (33,3333 %) und Preis (33,3333 %).

      WettbewerbOct 5, 2026
      Nov 4, 2026(25 Tage)

    • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau

      Laboratorieutstyr og analyseinstrumenter

      High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W

      Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 needs a High Temperature 200 mm Ion Implanter for delivery in Erlangen, Kreisfreie Stadt, over a duration of 12 months. The award criteria are Technical Details (65%) and Price (35%). Suppliers must provide information on turnover for the last 3 financial years.

      Wettbewerb mit QualifikationOct 7, 2026
      Nov 9, 2026(30 Tage)

    • Universität Innsbruck

      Beschaffung einer linearen segmentierten Paul-Falle inklusive diversem Zubehör u. Dienstleistungen laut Leistungsverzeichnis

      Die Universität Innsbruck benötigt die Lieferung einer linearen segmentierten Paul-Falle inklusive Zubehör und Dienstleistungen wie Lieferung, Einbringung, Aufbau, Verkabelung, Installation, Montage, Abnahme, Einweisung, Anwenderschulung und Dokumentation für das Institut für Experimentalphysik in Innsbruck. Die Vertragslaufzeit beträgt 60 Tage. Die Zuschlagskriterien sind Preis (45%), Anzahl der Zonen zum gleichzeitigen Einschluss eines linearen Ionen Kristalls pro Zone (10%), Gesamtanzahl von Ionen in Ionenkristallen variabler Länge (10%), größtmögliche numerische Apertur entlang der Ionenkette (10%), größtmögliche numerische Apertur senkrecht zur Ionenkette (10%), integrierte Mikrowellen-Antenne (5%), Barium Ablationsziel mit einer Häufigkeit von Barium mit der Massenzahl 137 von größer gleich 20% (5%) und ein weiteres parallel ausgerichtetes Sichtfenster (5%).

      WettbewerbSep 18, 2026
      Oct 28, 2026(18 Tage)