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    RIE Plasmaätzanlage

    Technische Universität Wien

    RIE Plasmaätzanlage

    1. Ergebnisbekanntmachung veröffentlicht

      19. mars kl. 11:5619. mars 2026 kl. 11:56
    2. Vertragsbeginn

      1. april kl. 00:001. april 2026 kl. 00:00
    3. Vertragsunterzeichnung

      8. april kl. 00:008. april 2026 kl. 00:00
    4. Änderung in Ergebnis

      17. april kl. 05:1917. april 2026 kl. 05:19

    Brief

    Österreich: Ausschreibungen/Technische Universität Wien/RIE Plasmaätzanlage

    Zuschlag erteilt

    Das Vergabeverfahren ist beendet und ein Gewinner wurde ausgewählt.

    Brief

    Elektrisk utstyr og belysning

    Die Technische Universität Wien hat einen Vertrag mit Oxford Instruments GmbH über die Lieferung einer RIE Plasmaätzanlage im Wert von 266.742 € abgeschlossen. Die Lieferung soll innerhalb von 7 Monaten erfolgen, wobei die PlasmaPro 80, 13.56 MHz Versorgung mit automatischer HF-Abstimmung (patentiert) ein wichtiges Qualitätskriterium war.

    Ergebnis

    Gewinner
    Oxford Instruments GmbH
    Anzahl Angebote
    1
    Vertragswert
    266.742 €

    Über das Angebot

      RIE Plasmaätzanlage

      Kontaktperson
      Dr.techn. Johannes Schalko
      Kontakttelefon
      +43 15880136687
      Kontakt-E-Mail
      johannes.schalko@tuwien.ac.at
      Adresse
      Karlsplatz 13, 1040 Wien

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    Zuschlagskriterien

    • Beschreibung

      PlasmaPro 80, 13.56 MHz Versorgung mit automatischer HF-Abstimmung (patentiert)

    Qualifikationsanforderungen

      Keine qualifikationsanforderungen in der Auftragsbekanntmachung gefunden.

    Frühere Zuschlagsempfänger

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    Vollständige Ausschreibung anzeigen

    Auftraggeber
    Technische Universität Wien
    Titel
    RIE Plasmaätzanlage
    Typ
    ErgebnisPräqualifikation
    Hauptcode
    31712100Mikroelektronische Maschinen und Geräte
    Zusätzliche Codes

    Keine zusätzlichen Codes vom Käufer…

    Ort
    Wien
    Dauer
    7 Monate

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