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    Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

    Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

    1. Fragefrist

      Jan 20, 11:00 AMJanuary 20, 2026 11:00 AM
    2. Angebotsfrist

      Feb 3, 11:00 AMFebruary 3, 2026 11:00 AM
    3. Vertragsbeginn

      Apr 30, 10:00 PMApril 30, 2026 10:00 PM
    4. Bindefrist

      May 3, 10:00 AMMay 3, 2026 10:00 AM
    5. Planungsbekanntmachung veröffentlicht

      Jun 9, 1:36 PMJune 9, 2026 1:36 PM

    Brief

    Deutschland: Ausschreibungen/Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik/Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
    Brief

    Laboratorie- og analyseutstyr

    Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

    Über das Angebot

      Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE). Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern (z. B. InP, InGaP, AlGaAs). Ziel ist die Erweiterung und Weiterentwicklung bestehender Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung im Rahmen des Projekts APECS

      Kontakttelefon
      493063928384
      Kontakt-E-Mail
      vergabe@fbh-berlin.de
      Adresse
      Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

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    Zuschlagskriterien

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    Qualifikationsanforderungen

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    Auftraggeber
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Titel
    Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
    Typ
    Planung
    Hauptcode
    38000000Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
    Zusätzliche Codes

    Keine zusätzlichen Codes vom Käufer…

    Zusätzliche Codes von Cobrief hinzugefügt

    38430000Erkennungs- und Analysegeräte
    38500000Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
    38810000Industrieprozesssteuerungsgeräte
    Geschätzter Wert
    944.000,00 €

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      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      Rahmenvereinbarung mit QualifikationSep 11, 2026
      Oct 13, 2026(5 Tage)
    • Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Laboratorie- og analyseutstyr

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      Das Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt die Lieferung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie in Berlin. Der Vertrag hat eine Laufzeit von 6 Monaten. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Qualität (50%) und Preis (50%). Als Qualifikationsanforderungen sind mindestens 2 Referenzen aus den letzten vier Jahren über die Installation und Inbetriebnahme eines CL-Systems an einem REM-System innerhalb der EU nachzuweisen, wobei zwei Referenzen die Installation an REM-Systemen unterschiedlicher Hersteller belegen müssen. Des Weiteren ist der Nachweis einer gültigen Haftpflichtversicherung sowie eine Unternehmensdarstellung mit mindestens einem Standort innerhalb der EU zur Sicherstellung von Service und Support erforderlich.

      Wettbewerb mit QualifikationSep 25, 2026
      Oct 26, 2026(18 Tage)
    • Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Anschaffung eines Femtosekunden-Laser-Systems mit Ti.Sa-Verstärkungssystems (Fachlos 1) und eines Detektionssystem (Fachlos 2)

      Das Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. benötigt die Lieferung, Installation und Einweisung eines Femtosekunden-Laser-Systems mit Ti:Sa-Verstärkungssystem (Los 1) und eines Detektionssystems (Los 2) in Dresden. Diese Neugeräte sind für die Untersuchung nichtlinearer optischer Parameter vorgesehen. Light Conversion hat heute einen ähnlichen Vertrag. Die Zuschlagskriterien sind technische Eigenschaften (33,3333 %) und Preis (33,3333 %).

      WettbewerbOct 5, 2026
      Nov 4, 2026(27 Tage)
    • Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 - Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle

      Elektrisk utstyr og belysning

      Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

      Die Technische Universität Braunschweig benötigt die Aufrüstung und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage. Die Lieferung der Güter erfolgt in Braunschweig, Deutschland. Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu den angebotenen Dienstleistungen mittels Eigenerklärung einzureichen.

      WettbewerbSep 23, 2026
      Oct 29, 2026(21 Tage)
    • Forschungsverbund Berlin e.V.

      OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

      Forschungsverbund Berlin e.V. benötigt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Cz-Züchtungsanlage für Fluorid-Einkristalle in Berlin, mit einer Vertragslaufzeit von 12 Monaten. Die Anlage muss Fluorid-Einkristalle mit einem maximalen Durchmesser von 100 mm und einem Gewicht von bis zu 5 kg züchten können, wobei der Prozess in einer wassergekühlten Edelstahlkammer unter Hochvakuum und mit Argon und CF4 als Prozessgase stattfindet. Die Beheizung erfolgt mittels Graphit-Widerstandsheizung. Die Vergabe erfolgt auf Basis des Preises (100%), wobei der Angebotspreis um Lebenszykluskosten (Stromverbrauchskosten über 15 Jahre) erhöht wird. Als Qualifikationsanforderung ist mindestens eine Referenz über die erfolgreiche Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Schmelzzüchtungsanlage zur Züchtung von Oxid- oder Fluorid-Einkristallen mittels Ziehverfahren (z. B. Czochralski-Verfahren) bei Temperaturen über 1000 °C und vergleichbarer Komplexität erforderlich, die nicht älter als 3 Jahre ist.

      WettbewerbSep 24, 2026
      Oct 16, 2026(8 Tage)