Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
Laboratorie- og analyseutstyr
Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.
Über das Angebot
- Kontakttelefon
- 493063928384
- Kontakt-E-Mail
- vergabe@fbh-berlin.de
- Adresse
- Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin
Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE). Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Anlage zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern (z. B. InP, InGaP, AlGaAs). Ziel ist die Erweiterung und Weiterentwicklung bestehender Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung im Rahmen des Projekts APECS
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- Auftraggeber
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Titel
- Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems
- Typ
- Hauptcode
- Zusätzliche Codes
- Geschätzter Wert
- 944.000,00 €
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