Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

Neubeschaffung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie

Das Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt die Lieferung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie in Berlin. Der Vertrag hat eine Laufzeit von 6 Monaten. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Qualität (50%) und Preis (50%). Als Qualifikationsanforderungen sind mindestens 2 Referenzen aus den letzten vier Jahren über die Installation und Inbetriebnahme eines CL-Systems an einem REM-System innerhalb der EU nachzuweisen, wobei zwei Referenzen die Installation an REM-Systemen unterschiedlicher Hersteller belegen müssen. Des Weiteren ist der Nachweis einer gültigen Haftpflichtversicherung sowie eine Unternehmensdarstellung mit mindestens einem Standort innerhalb der EU zur Sicherstellung von Service und Support erforderlich.

Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer

Der Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg, benötigt eine Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer zur Abscheidung verschiedener Materialien auf Probenoberflächen. Die Lieferung soll in Erlangen erfolgen. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Preis (70 %) und Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog (30 %). Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu spezifischen Lieferungen erforderlich.

Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

Die Technische Universität Braunschweig benötigt die Aufrüstung und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage. Die Lieferung der Güter erfolgt in Braunschweig, Deutschland. Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu den angebotenen Dienstleistungen mittels Eigenerklärung einzureichen.