Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and high-frequency characterization of 200-mm wafers for research and laboratory use. The system, to be delivered to Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt, Germany, must include a 200-mm wafer prober with vacuum chuck and precision positioning, individual probes, multi-contact probes for RF measurements up to at least 6 GHz, a probe card system, automated microscopy and camera equipment, as well as control and software components. The scope of supply also includes transport, installation, commissioning, training, documentation, warranty, and spare-parts supply.

Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system should support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and integrate with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training, and integration support. The delivery, installation, commissioning, and integration will take place in Frankfurt (Oder), Germany.

FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

Die Technische Universität Braunschweig benötigt die Aufrüstung und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage. Die Lieferung der Güter erfolgt in Braunschweig, Deutschland. Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu den angebotenen Dienstleistungen mittels Eigenerklärung einzureichen.