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    Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

    Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    1. Wettbewerbsbekanntmachung veröffentlicht

      23. okt. kl. 08:2023. oktober 2025 kl. 08:20
    2. Änderung in Wettbewerb

      20. nov. kl. 17:1820. november 2025 kl. 17:18
    3. Vertragsunterzeichnung

      25. mars kl. 00:0025. mars 2026 kl. 00:00
    4. Ergebnisbekanntmachung veröffentlicht

      30. mars kl. 08:2430. mars 2026 kl. 08:24

    Brief

    Deutschland: Ausschreibungen/Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik/Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

    Zuschlag erteilt

    Das Vergabeverfahren ist beendet und ein Gewinner wurde ausgewählt.

    Brief

    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik hat eine Rahmenvereinbarung mit Plasma Therm Europe über die Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support) in Berlin geschlossen. Der geschätzte maximale Gesamtwert des Vertrags beträgt 500.000 EUR. Bei der Vergabe wurden die Lieferzeit (10 %) und der Preis (90 %) berücksichtigt. Es wurde ein Angebot eingereicht.

    Ergebnis

    Gewinner
    Plasma-Therm Europe
    Anzahl Angebote
    1
    Vertragswert
    Nicht angegeben
    Maximaler Rahmenvereinbarungswert
    Bis zu -1 €

    Über das Angebot

      FBH-2025-142 Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

      Kontaktperson
      Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
      Kontakttelefon
      +49 30 63922600
      Kontakt-E-Mail
      vergabe@fbh-berlin.de
      Adresse
      Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

    Benutzerdefinierte Bewertungskriterien

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    Zuschlagskriterien

    • Beschreibung

      Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Maßgeblich ist ausschließlich die Angabe der Lieferzeit in Monaten. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).

      Bewertungsmethode

      Angebote mit einer Lieferfrist von 18 Monaten oder länger erhalten 0 Punkte. Das Angebot mit der kürzesten Lieferzeit erhält 10 Punkte (Maximalwert).

    • Beschreibung

      Preiskomponente Nr. 1 (50%), Preiskomponente Nr. 2 Service und Support (gesamt 20%), Preiskomponente Nr. 3 Optionen (gesamt 20%)

      Unterkriterien

      Beschreibung

      Preiskomponente Nr. 1

      Beschreibung

      Preiskomponente Nr. 2 Service und Support

      Beschreibung

      Preiskomponente Nr. 3 Optionen

    Qualifikationsanforderungen

      Keine qualifikationsanforderungen in der Auftragsbekanntmachung gefunden.

    Frühere Zuschlagsempfänger

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    Vollständige Ausschreibung anzeigen

    Auftraggeber
    Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
    Titel
    Lieferung eines O₂-Photoresist-Strippers (O₂-Asher) einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
    Typ
    ErgebnisRahmenvereinbarungPräqualifikation
    Hauptcode
    22520000Trockenätzausrüstung
    Zusätzliche Codes

    Keine zusätzlichen Codes vom Käufer…

    Ort
    Berlin
    Geschätzter Wert
    500.000,00 €

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    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Anleggsmaskiner og utstyr

      FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      Rahmenvereinbarung mit Qualifikation11. sep. 2026
      13. okt. 2026(5 Tage)
    • Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Neubeschaffung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie

      Das Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt die Lieferung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie in Berlin. Der Vertrag hat eine Laufzeit von 6 Monaten. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Qualität (50%) und Preis (50%). Als Qualifikationsanforderungen sind mindestens 2 Referenzen aus den letzten vier Jahren über die Installation und Inbetriebnahme eines CL-Systems an einem REM-System innerhalb der EU nachzuweisen, wobei zwei Referenzen die Installation an REM-Systemen unterschiedlicher Hersteller belegen müssen. Des Weiteren ist der Nachweis einer gültigen Haftpflichtversicherung sowie eine Unternehmensdarstellung mit mindestens einem Standort innerhalb der EU zur Sicherstellung von Service und Support erforderlich.

      Wettbewerb mit Qualifikation25. sep. 2026
      26. okt. 2026(18 Tage)
    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      Planung9. juni 2026944.000 €
    • Physikalisch - Technische Bundesanstalt Braunschweig

      Anleggsmaskiner og utstyr

      Lieferung inkl. Montage und Installation eines Halbautomatischen On-Wafer Prober gemäß Leistungsbeschreibung

      Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig benötigt die Lieferung, Montage und Installation eines halbautomatischen On-Wafer Probers in Braunschweig. Die Vergabe erfolgt auf Basis von Qualität (70 %) und Preis (30 %).

      Wettbewerb8. sep. 2026
      14. okt. 2026(6 Tage)
    • Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

      Anlage zum kombinierten Entbindern und Sintern - PR1011235-2520-W

      Die Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 benötigt eine Anlage zum kombinierten Entbindern und Sintern, die in Dresden geliefert werden soll. Die Vertragslaufzeit beträgt 10 Monate. Die Vergabe erfolgt auf Basis des technischen Konzepts (50 %) und des Preises (50 %). Als Qualifikationsanforderung wird der Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre herangezogen.

      Wettbewerb3. sep. 2026
      7. okt. 2026(0 Tage)