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    Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

    IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

    Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

    1. Wettbewerbsbekanntmachung veröffentlicht

      Jun 4, 10:01 AMJune 4, 2026 10:01 AM

    2. Fragefrist

      Jun 26, 9:59 PMJune 26, 2026 9:59 PM

    3. Teilnahmefrist

      Jul 7, 10:00 AMJuly 7, 2026 10:00 AM

    4. Aufforderung zur Angebotsabgabe

      Jul 7, 10:00 PMJuly 7, 2026 10:00 PM

    Brief

    Deutschland: Ausschreibungen/IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik/Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

    Veröffentlichte Frist abgelaufen

    Die veröffentlichte Frist ist abgelaufen. Bei mehrstufigen Verfahren kann eine spätere Angebotsfrist weiterhin gelten — prüfen Sie die Bekanntmachung oder das Portal für die aktuelle Phase.

    Brief

    Anleggsmaskiner og utstyr

    IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik benötigt die Aufrüstung eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Dies beinhaltet Anpassungen am Gasverteilungssystem für einen gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozess sowie die Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr. Die Leistungen umfassen Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem. Die Lieferung und Installation erfolgt in Frankfurt (Oder).

    Über das Angebot

      Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

      Kontaktperson
      Beschaffung
      Kontakttelefon
      +49 335-5625337
      Kontakt-E-Mail
      vergabestelle@ihp-microelectronics.com
      Adresse
      Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder)

    Benutzerdefinierte Bewertungskriterien

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    Zuschlagskriterien

      Keine zuschlagskriterien in der Auftragsbekanntmachung gefunden.

    Qualifikationsanforderungen

    • Beschreibung

      Beschreibung des vorgesehenen Projektteams.

      Dokumentationsanforderung

      Mittels Eigenerklärung.

    Frühere Zuschlagsempfänger

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    Vollständige Ausschreibung anzeigen

    Auftraggeber
    IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
    Titel
    Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
    Typ
    WettbewerbPräqualifikation
    Hauptcode
    42990000Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
    Zusätzliche Codes
    31712100Mikroelektronische Maschinen und Geräte
    Ort
    Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

    Aktive ähnliche Ausschreibungen

    • Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 - Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle

      Elektrisk utstyr og belysning

      Auf- und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage

      Die Technische Universität Braunschweig benötigt die Aufrüstung und Umrüstung einer Veeco K300 MOVPE-Anlage. Die Lieferung der Güter erfolgt in Braunschweig, Deutschland. Als Qualifikationsanforderung sind Referenzen zu den angebotenen Dienstleistungen mittels Eigenerklärung einzureichen.

      WettbewerbSep 23, 2026
      Oct 29, 2026(21 Tage)

    • IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

      IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system should support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and integrate with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training, and integration support. The delivery, installation, commissioning, and integration will take place in Frankfurt (Oder), Germany.

      WettbewerbSep 11, 2026
      Oct 13, 2026(5 Tage)

    • IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

      IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik needs a semi-automatic wafer prober system for the electrical and high-frequency characterization of 200-mm wafers for research and laboratory use. The system, to be delivered to Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt, Germany, must include a 200-mm wafer prober with vacuum chuck and precision positioning, individual probes, multi-contact probes for RF measurements up to at least 6 GHz, a probe card system, automated microscopy and camera equipment, as well as control and software components. The scope of supply also includes transport, installation, commissioning, training, documentation, warranty, and spare-parts supply.

      WettbewerbSep 28, 2026
      Oct 29, 2026(21 Tage)

    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Anleggsmaskiner og utstyr

      FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      Rahmenvereinbarung mit QualifikationSep 11, 2026
      Oct 13, 2026(5 Tage)

    • Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

      Laboratorie- og analyseutstyr

      Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

      Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

      PlanungJun 9, 2026944.000 €