FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern, die hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglicht, einschließlich Installation, Wartung und Support. Die Lieferung erfolgt nach Berlin. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

Vorinformation – Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik plant die Beschaffung eines Atomic Layer Etching Systems (ALE) zur präzisen und materialschonenden Ätzung von III-V-Halbleitern, um bestehende Prozessketten im Bereich der Mikro- und Nanostrukturierung zu erweitern und weiterzuentwickeln. Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer solchen Anlage. Oxford Instruments GmbH hat heute einen ähnlichen Vertrag.

Neubeschaffung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie

Das Ferdinand-Braun-Institut Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik benötigt die Lieferung eines Kathodolumineszenzsystems für die Materialtechnologie in Berlin. Der Vertrag hat eine Laufzeit von 6 Monaten. Die Vergabe erfolgt nach den Kriterien Qualität (50%) und Preis (50%). Als Qualifikationsanforderungen sind mindestens 2 Referenzen aus den letzten vier Jahren über die Installation und Inbetriebnahme eines CL-Systems an einem REM-System innerhalb der EU nachzuweisen, wobei zwei Referenzen die Installation an REM-Systemen unterschiedlicher Hersteller belegen müssen. Des Weiteren ist der Nachweis einer gültigen Haftpflichtversicherung sowie eine Unternehmensdarstellung mit mindestens einem Standort innerhalb der EU zur Sicherstellung von Service und Support erforderlich.

Hardware-Rahmenvereinbarung 2026

BITMARCK benötigt die Lieferung von Hardware im Rahmen einer Rahmenvereinbarung, aufgeteilt in vier Lose, über einen Zeitraum von 2 Jahren mit einem maximalen Gesamtwert von 231 Millionen Euro. Die Lieferung erfolgt in Essen, Kreisfreie Stadt. Die Vergabe erfolgt ausschließlich nach dem Preis (100%).

OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

Forschungsverbund Berlin e.V. benötigt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Cz-Züchtungsanlage für Fluorid-Einkristalle in Berlin, mit einer Vertragslaufzeit von 12 Monaten. Die Anlage muss Fluorid-Einkristalle mit einem maximalen Durchmesser von 100 mm und einem Gewicht von bis zu 5 kg züchten können, wobei der Prozess in einer wassergekühlten Edelstahlkammer unter Hochvakuum und mit Argon und CF4 als Prozessgase stattfindet. Die Beheizung erfolgt mittels Graphit-Widerstandsheizung. Die Vergabe erfolgt auf Basis des Preises (100%), wobei der Angebotspreis um Lebenszykluskosten (Stromverbrauchskosten über 15 Jahre) erhöht wird. Als Qualifikationsanforderung ist mindestens eine Referenz über die erfolgreiche Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Schmelzzüchtungsanlage zur Züchtung von Oxid- oder Fluorid-Einkristallen mittels Ziehverfahren (z. B. Czochralski-Verfahren) bei Temperaturen über 1000 °C und vergleichbarer Komplexität erforderlich, die nicht älter als 3 Jahre ist.